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    超凈室或超凈臺的過濾方法介紹

        超凈室或超凈臺所用的空氣過濾方法都屬于物理法,一般是體積過濾和表面過濾,它的集塵是通過直接碰掩、慣性、擴散和靜電等作用完成的。
        根據灰塵的濃度可將過濾器分為前級、中級和末級三種。在前級,一般采用初效過濾器,中級采用中效過濾器,末級采用高效過濾器。前級過濾純屬體積過濾方式,因此,具有一定孔徑的密集的網狀結構物質都可以用作初效過濾材料,它主要是過濾較大顆;覊m,同時也有利于提高中效過濾器和高效過濾器的使用周期,下面主要介紹一下中效過濾器和高效過濾器。

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